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            行業新聞
            國機集團研制國內首臺全自動龍門式12英吋砂輪劃片機
            發布人:蓬萊力達砂輪有限公司 來源:本站整理 發布時間:2013-12-11

             近日,中國機械工業集團公司(簡稱國機集團)所屬沈陽儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過了科技成果鑒定。

            項目研制出了國內首臺全自動、龍門式12英吋砂輪劃片機。最高累積步進精度可達2μm/310mm,主軸最高轉速41000r/min。

            申請國家發明專利3項以上,實用新型專利4項以上,取得了一批具有自主知識產權的研究成果,填補了國內空白,整體技術水平達到國際先進水平,形成了相應技術規范和標準。

            項目的研發成功為提升我國IC(集成電路)裝備的技術水平檔次、提高國內外市場的競爭力和市場占有率,滿足我國IC裝備需求將起到重要的推進作用。


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